在鋰電、汽車、鋼鐵與半導(dǎo)體等制造領(lǐng)域，微米級顆粒與非金屬夾雜物已成為影響可靠性、良率與產(chǎn)品壽命的關(guān)鍵因素。清潔度不再只是檢測項(xiàng)目，而是企業(yè)核心競爭力的重要組成部分。科學(xué)選型，決定質(zhì)量上限。

01.鋰電清潔度管控

ParticleX Battery 全自動鋰電清潔度檢測

【行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)】

鋰電池中的銅、鋅、鐵等金屬異物可能導(dǎo)致嚴(yán)重的安全事故，對金屬異物的管控也已成為行業(yè)共識。飛納電鏡 ParticleX Battery 全自動鋰電清潔度分析系統(tǒng)，基于掃描電鏡 + 能譜法可自動識別、分析和統(tǒng)計(jì)銅、鋅、鐵等金屬異物，進(jìn)而幫助分析異物來源，改善生產(chǎn)條件，減少安全事故的發(fā)生。

• 全自動識別、分析、統(tǒng)計(jì)銅（Cu）/鋅（Zn）等金屬異物

• ??7x24h 無人值守，隔夜分析

• ??定制化分析程序，滿足各類

磷酸鐵鋰掃描電鏡圖

金屬異物的統(tǒng)計(jì)結(jié)果（篩分法）

金屬異物的平均成分（篩分法）

自動獲取的磷化鐵的詳細(xì)信息

02.汽車清潔度管控

ParticleX AC 全自動汽車清潔度檢測【電鏡法】

ParticleX 全自動汽車清潔度分析系統(tǒng)通過 SEM-EDS 自動化實(shí)現(xiàn)顆粒的尺寸、形貌與化學(xué)成分分析，被認(rèn)為是目前“有效的清潔度檢測方法之一"，能夠生成符合 ISO/VDA 標(biāo)準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)化報(bào)告，顯著提升顆粒污染可溯源性和檢測效率。

• 基于 SEM 和 EDS 成分分析

• 符合 VDA19 和 ISO16232 標(biāo)準(zhǔn)

• 7X24h 全自動分析

• 自動檢測 SiO， AlO 等硬質(zhì)顆粒并分類

從研發(fā)到生產(chǎn)，ParticleX AC 提供的定量數(shù)據(jù)快速、準(zhǔn)確又可靠，一鍵導(dǎo)出報(bào)告的功能更是省時(shí)省力。目前，奔馳、寶馬、博澤、三電、三花等國內(nèi)外車企都已投入使用。

MicroQuick 高性價(jià)比清潔度快速分析儀

MicroQuick 顆粒掃描儀由 RJL 公司開發(fā)，用于快速分析零部件的清潔度。該方法已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)已有 15 年多的歷史，并且符合 VDA-19.1 和 ISO-16232 標(biāo)準(zhǔn)。這款高分辨率顆粒掃描儀能夠在不到 3 分鐘的時(shí)間內(nèi)自動確定殘留污染物顆粒的數(shù)量、大小、形狀以及金屬光澤。

• 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)：符合 VDA19 / ISO16232

• 快速簡便：2.5 分鐘內(nèi)完成過濾分析并生成報(bào)告

• 可靠：10 年內(nèi)零維修案例

• “零"維護(hù)：自行校準(zhǔn)，自動生成審計(jì)報(bào)告

03.鋼鐵夾雜物檢測

ParticleX Steel 全自動鋼鐵夾雜物分析

ParticleX Steel 實(shí)現(xiàn)了從樣品制備、圖像采集、成分分析到報(bào)告生成的全流程自動化。技術(shù)突破在于將掃描電鏡與能譜儀一體化集成，能夠自動識別、分析數(shù)萬至數(shù)十萬個(gè)夾雜物顆粒，并依據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行分類統(tǒng)計(jì)。ParticleX 全自動夾雜物分析系統(tǒng)可對大尺寸樣品進(jìn)行原位統(tǒng)計(jì)，輸出夾雜物數(shù)量、尺寸分布、體積分?jǐn)?shù)及三元相圖成分分布等結(jié)果。相比手動分析，效率提升 10 倍以上，且支持一鍵定位異常夾雜物進(jìn)行深度分析。

通過 ParticleX Steel，可以獲得如下結(jié)果：

01.大量夾雜物的形貌，尺寸，成分，以及分類

02.各類夾雜物的分布情況（按數(shù)量分布）

03.不同種類夾雜物的成分及含量信息（均值）

04.將夾雜物的組成分布體現(xiàn)在自定義的三元分布圖

05.極值分析，預(yù)測大夾雜物尺寸

06.重新定位特定夾雜物，成分面分布掃描

04.Fastmicro 潔凈室與制程監(jiān)控

環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監(jiān)控儀 PFS

Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監(jiān)控儀，專為潔凈室顆粒沉積速率測量而研發(fā)，支持秒級間隔的數(shù)據(jù)采集，精準(zhǔn)測量 0.5μm 以上顆粒。結(jié)合直觀易用的軟件系統(tǒng)，幫助客戶實(shí)現(xiàn)從單純空氣監(jiān)測向表面潔凈度監(jiān)測的跨越式升級，為工藝流程優(yōu)化和潔凈度持續(xù)改進(jìn)提供科學(xué)依據(jù)。

• 符合 ISO 14644-17 標(biāo)準(zhǔn)

• 可檢測低至 0.5μm 顆粒

• 10 秒完成 2 英寸面積檢測

• 適用于真空與常壓環(huán)境

儀器表面顆粒物分析儀 SAS

Fastmicro 儀器表面顆粒物分析儀，是一款基于“膠帶粘取"采樣技術(shù)的表面污染檢測工具，可通過間接測量方式識別小至 0.5μm 的顆粒污染物。其配備的專用 PMC 采樣卡能在各類表面（包括難以觸及區(qū)域和高粗糙度表面）實(shí)現(xiàn)靈活采樣，且不會殘留可檢測的痕跡。該設(shè)備可在數(shù)秒內(nèi)完成 225mm 采樣區(qū)域的分析，確?？焖佾@得精準(zhǔn)檢測結(jié)果。搭配 2 英寸晶圓支架，也可對沉降顆粒進(jìn)行檢測，滿足跨行業(yè)復(fù)雜場景的檢測需求。

• 符合 ISO 14644-9 標(biāo)準(zhǔn)

• 可檢測低至 0.5μm 顆粒

• 90% 采集效率 | >90% 重復(fù)性

• 10 秒完成檢測

• ASML 也在用！

Dr. Ir. L.H.A. Leunissen | ASML, cleanliness project manager 說到：“作為長期合作伙伴，F(xiàn)astmicro 的整合應(yīng)用使我們達(dá)成了設(shè)備缺陷率指標(biāo)要求。該設(shè)備不僅測量精準(zhǔn)，更具備操作簡便和高通量特性。我們高度認(rèn)可 Fastmicro 的專業(yè)服務(wù)，并期待未來通過深度合作進(jìn)一步拓展設(shè)備的功能邊界。"