像散對掃描電鏡成像質(zhì)量的影響

通過之前的文章，大家了解了 “加速電壓" 與 “束流強(qiáng)度" 對圖像的成像質(zhì)量有非常大的影響。其實(shí)除了加速電壓、樣品的導(dǎo)電性、電鏡的束流強(qiáng)度，像散、圖像的亮度對比度等都會影響掃描電鏡圖像的成像質(zhì)量。

今天，這一篇文章將教大家了解消除像散的重要性，提高樣品的成像質(zhì)量。

像散的定義可能會比較抽像，所以，小編用近視的散光來進(jìn)行對比。

當(dāng)近視看月亮?xí)r，月亮?xí)容^模糊，但仍是一個圓形。

當(dāng)近視有散光看月亮?xí)r，看到的月亮?xí)霈F(xiàn)變形。

掃描電鏡的像散就如同散光，當(dāng)圖像有像散時，在聚焦的過程中會發(fā)現(xiàn)圖像拉伸變形，失去原本的形狀，這也是判斷像散的依據(jù)。如果在聚焦的過程中，沒有發(fā)現(xiàn)圖像出現(xiàn)拉伸變形，僅僅只是圖像虛化，那便說明沒有像散。

像散是影響圖像清晰度的重要因素。尤其是高倍圖片——在用高加速電壓、低束流拍攝高倍率圖片時，一般都需要進(jìn)行消像散。下面，通過幾組圖片，讓大家更好的理解消像散對高倍率圖像的重要性。

錫球，掃描電鏡放大倍數(shù)是 79000 倍，左邊圖像無像散，右邊圖像有像散

電極材料，掃描電鏡放大倍數(shù) 50000 倍，左邊圖像無像散，右邊圖片有像散

炭材料，掃描電鏡放大倍數(shù) 20000 倍，左邊圖像無像散，右邊圖片有像散

當(dāng)掃描電鏡圖像出現(xiàn)像散時，對其進(jìn)行聚焦，圖像會出現(xiàn)拉伸感，如下圖所示，消像散需要實(shí)驗(yàn)員具有豐富的操作經(jīng)驗(yàn)，才能準(zhǔn)確識別并消除象散。

飛納電鏡 Rel 4.6 的自動消像散功能可以輕松解決掃描電鏡初級操作者無法熟練消像散的問題。