臺式掃描電鏡早在1935年便已經(jīng)被提出來了。1942年，英國首先制成一臺實驗室用的掃描電鏡，但由于成像的分辨率很差，照相時間太長，所以實用價值不大。經(jīng)過各國科學(xué)工作者的 努力，尤其是隨著電子工業(yè)技術(shù)水平的不斷發(fā)展，到1956年開始生產(chǎn)商品掃描電鏡?，F(xiàn)在掃描電鏡已廣泛用于材料科學(xué)（金屬材料、非金屬材料、納米材料）、冶金、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災(zāi)害（火災(zāi)、失效分析）鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。
掃描電鏡的特點：
?。?）能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu)，樣品的尺寸可大至120mm*80mm*50mm。
?。?） 樣品的制備過程簡單，不用切成薄片。
?。?） 樣品可以在樣品室中作三維空間的平移和旋轉(zhuǎn)，因此可以從各種角度對樣品進行觀察。
（4） 景深大，圖像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結(jié)構(gòu)。掃描電鏡的景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍，比透射電鏡大幾十倍。
?。?） 圖像的放大范圍廣，分辨率也比較高。可放大十幾倍到幾十萬倍，它基本上包括了從放大鏡、光學(xué)顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學(xué)顯微鏡與透射電鏡之間，可達3nm。
（6） 電子束對樣品的損傷與污染程度較小。
?。?） 能夠進行動態(tài)觀察（如動態(tài)拉伸、壓縮、彎曲、升降溫等）。
?。?） 在觀察形貌的同時，還可利用從樣品發(fā)出的其他信號做微區(qū)成分及晶體學(xué)分析。
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